专利名称:多层结构及其制造方法专利类型:发明专利
发明人:奥利维尔·泰松,弗朗索斯·利考内克申请号:CN200880123169.9申请日:20081020公开号:CN101986794A公开日:20110316
摘要:提供一种多层结构,尤其是槽式电容器的多层结构,所述结构包括含有沟槽的图形化层结构和第一电极,其中图形化层结构包括FASS曲线(FASS-curve)结构,并且第一电极至少部分形成于该FASS曲线结构上。
申请人:IPDIA公司
地址:法国卡昂
国籍:FR
代理机构:上海天协和诚知识产权代理事务所
代理人:张恒康
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