专利名称：真空紫外光谱采集装置及方法专利类型：发明专利
发明人：王庆祥,吕全超,洪波,吴锋明,俞晓峰,胡建坤,喻正宁,
韩双来
申请号：CN201610004332.6申请日：20160104公开号：CN105509887A公开日：20160420
摘要：本发明涉及一种真空紫外光谱采集装置，包括测量光室，所述光谱采集装置进一步包括：循环单元，所述循环单元与测量光室相连通，并与所述测量光室构成循环气路；气路选择单元，所述气路选择单元设置在所述循环气路上，使所述测量光室选择性地连通循环气路和/或恒压单元；恒压单元，所述恒压单元设置在与所述循环气路相连的气体支路上；压力传感器，所述压力传感器用于监测测量光室的压力；控制单元，所述控制单元根据所述测量光室的压力变化调节所述气路选择单元。本发明还提供一种真空紫外光谱采集方法。本发明具有成本低、装置稳定、测量准确、自动恒压等优点。
申请人：聚光科技(杭州)股份有限公司
地址：310052 浙江省杭州市滨江区滨安路760号
国籍：CN
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