专利名称：一种对硅片切削废液的回收方法专利类型：发明专利发明人：黄立军
申请号：CN201010257078.3申请日：20100817公开号：CN101905938A公开日：20101208
摘要：本发明公开了一种对硅片切削废液的回收方法，包括以下步骤：(1)对硅片切削废液进行固液分离，在分离后的液相中，首先加入酸反应后，加入氨水调节pH值至7～8，加入活性炭脱色，然后经过滤除杂，滤液进行减压蒸馏，得到聚乙二醇。(2)对所述切削废液固液分离所得的固相先进行6～9次水洗，所得水洗液首先调节pH值至4～6后过滤，过滤所得固体物料经减压干燥得到硅粉。(3)对步骤(2)中水洗后的固相分别经碱洗和酸洗，所述碱洗在温度为70～80℃时进行，然后经过滤烘干，得到碳化硅微粉。(4)将步骤(2)所得滤液和步骤(3)中所得的洗液和滤液混合后，调节pH值至4～6后过滤，所得滤液作为生产用水循环利用。
申请人：黄立军
地址：262500 山东省潍坊市青州市东环路14号
国籍：CN
代理机构：潍坊正信专利事务所
代理人：赵玉峰
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