专利名称：脉冲气体激光发生装置专利类型：发明专利发明人：中牟田浩典申请号：CN99800772.2申请日：19990518公开号：CN1272232A公开日：20001101
摘要：一种脉冲气体激光发生装置,按照第一主电极24、形成主放电电路用的绝缘体制筒状放电管21及第二主电极25的顺序纵向配置且内部有媒体气体,在这些第一主电极及第二主电极的外侧配置构成光谐振器的一对反射镜22、23,进而备有将主放电用电压加在所述第一主电极及第二主电极间的电源装置,在第一主电极或第二主电极的至少一主电极附近具有筒状介质体40和邻接该筒状介质体配置的辅助电极41,并具有工作时将电压加给该辅助电极使在筒状介质体的内侧区域产生等离子电极25a的辅助电极电压施加手段28。
申请人：东芝株式会社
地址：日本神奈川县
国籍：JP
代理机构：上海专利商标事务所
代理人：孙敬国
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