一种激光干涉仪的角度测量校准装置及系统

（12）实用新型专利

（21）申请号 CN201621011800.4 （22）申请日 2016.08.30

（71）申请人 深圳市中图仪器科技有限公司

地址 518000 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1001号智园B1栋2层

（10）申请公布号 CN205879111U

（43）申请公布日 2017.01.11

（72）发明人 张和君;潘子祥;刘龙为

（74）专利代理机构 深圳市科吉华烽知识产权事务所(普通合伙)

代理人 温玉珍

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

一种激光干涉仪的角度测量校准装置及系统

（57）摘要

本实用新型提供一种激光干涉仪的角度测

量校准装置及系统，所述激光干涉仪的角度测量校准装置包括：激光头、角度干涉镜、角度反射镜、转台上盘、转台下盘和转台底座，所述角度干涉镜设置于所述激光头和角度反射镜之间，所述角度反射镜设置于所述转台上盘上，所述转台上盘设置于所述转台下盘上；所述转台底座设置有凹槽，所述转台下盘通过凹槽设置于所述转台底座上。本实用新型结构精密，标准角度误差

小，能够通过主动生成一定偏角来校准初始零位角，所述偏角可以通过角度光栅和驱动构件来主动生成，该生成的角度较为精确；在此基础上，在校准的过程中还能够同时校准初始零位误差和角度反射镜的常数，简化了激光干涉仪的校准步骤，提高了校准效率。

法律状态

法律状态公告日2017-01-11 2017-03-22

法律状态信息

授权

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

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权利要求说明书

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说明书

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