专利名称：用于静电卡盘的热屏蔽专利类型：发明专利
发明人：岱尔·K·史东,大卫·J·奇普曼申请号：CN201680038069.0申请日：20160606公开号：CN107810548A公开日：20180316
摘要：本发明揭示可安置于加热的静电卡盘与基底之间的热屏蔽。热屏蔽包括具有在1密耳与5密耳之间的厚度的热绝缘体，例如聚酰亚胺膜。聚酰亚胺膜在一个侧上涂覆有反射材料层，例如铝。所述反射材料层可在30纳米与100纳米之间。热屏蔽安置成使得所述反射材料层更靠近卡盘。由于所述反射材料层较薄，所以热屏蔽不保持大量热。此外，热屏蔽的温度保持远低于聚酰亚胺膜的玻璃化转变温度。
申请人：瓦里安半导体设备公司
地址：美国麻萨诸塞州格洛斯特郡都利路35号
国籍：US
代理机构：北京同立钧成知识产权代理有限公司
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