专利名称:一种硅单晶生长用勾形电磁场装置专利类型:实用新型专利发明人:张鸣剑,李润源,付宗义申请号:CN200920107968.9申请日:20090511公开号:CN201400727Y公开日:20100210
摘要:一种硅单晶生长用勾形电磁场装置,在单晶炉的外围设有上下分离的两组导电线圈,所述两组导电线圈结构相同,分别接通大小相等,方向相反的电流。两组导电线圈通电后可以产生两组磁场,单晶炉处于两组磁场之中,两组磁场可以有效地抑制单晶炉中单晶硅生长时的热对流作用,使单晶硅杂质含量均匀分布,显著改善晶体质量,实现单晶硅的等效微重力生长。
申请人:北京京仪世纪自动化设备有限公司
地址:100079 北京市丰台区永外宋家庄苇子坑2号
国籍:CN
代理机构:北京凯特来知识产权代理有限公司
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示,请点此查看更多更全内容