请问Metal-Oganic Source是什么意思啊 ?LDE制程中用到的。
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发布时间：2022-04-24 11:33
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时间：2022-05-31 17:57
金属有机气相沉积原料，能提供连续不断的源料。主要指TMGA、TMIN、TEGA等，其性质如下：
MO Source特性
三甲基镓Ga(CH3)3
1.英文名： Trimethylgallium，常简写为TMG或TMGa
2.用途：外延成长、化学气相淀积、金属的有机合成。
3.制法：2GaCl3+6MgCH3I→2Ga(CH3)3+3Mgl2+3MgCl2
4.理化性质：
分子量： 114.825
熔点(101.325kPa)： -15.8℃
沸点(191.325kPa)： 55.8℃
液体密度(15℃，100kPa)： 1151 kg/m
气体密度： 4.0 kg/m。
蒸气压(-10℃)： 5.1kPa
(10℃)： 14.7kPa
(30℃)： 37.0kPa
三甲基镓在常温常压下为无色透明有毒液体。在空气中易氧化，在室温自燃，燃烧时发出金属氧化物白烟。高温时自行分解。它在已烷、庚烷等脂肪族饱和烃和甲苯、二甲苯等芳香族烃中以任何比例相溶。与水激烈反应生成Me2GaOH和[(Me2Ga)2O]X，并放出甲烷气。与AsH3、PH3、乙醚类、叔胺及其它路易士碱形成稳定的络合物。与具有活性氢的醇类、酸类产生激烈反应。用烃类溶剂烯释到25%以下的三甲基镓，失去其自燃性。
5.毒性
三甲基镓接触皮肤能引起组织破坏和烧伤。三甲基镓的燃烧产物氧化物白烟，能刺激和腐蚀眼、皮肤和呼吸道粘膜，损伤支气管、肺和肾，严重时可引起肺水肿。
6.安全防护
贮液钢瓶内的液面要用N2、Ar等惰性气体保护。容器及用气设备装置必须事先烘干，抽真空，用惰性气体清洗，赶出空气和水分。经探漏，在确保密封的情况下使用。
三甲基镓无腐蚀性，可以用碳钢、不锈钢、铜、青铜、黄铜、镍等金属材料，不能用铅、镁、锡、锌和铝。可以用聚四氟乙烯、含聚四氟乙烯的石棉、聚三氟氯乙烯聚合体、含碳石棉。尼龙、聚丙烯、氟化橡胶也可短时间使用。不能用硅橡胶、天然橡胶、氯丁橡胶、丁腈橡胶和纤维素、羊毛等纤维类。
三甲基镓着火时，灭火比较困难。一般是用干粉、干砂、二氧化碳和砾石来控制火势，防止火灾蔓延到别处，直至其完全燃烧掉。绝不可用水、泡沫和卤代烃灭火剂。
当三甲基镓泄漏时，首先要切断所有火源，然后用不燃性分散剂制成的乳剂洗刷，或用干燥砂土吸收后拿到空旷地方掩埋。污染的地面要用肥皂或洗涤剂洗刷，洗水经稀释后排入废水系统。
三甲基铝
1、英文名：Aluminium trimethyt，Trinethyluminium.
分子式：[(CH3)3Al]2
性质：无色液体，熔点15℃。
沸点126℃。闪点-18℃。密度0.752g/cm3。
2、用途：
石油烃聚合的催化剂、火箭燃烯料、化学气相淀积、外延成长、有机合成。
3、理化性质：
分子量： 72.086
熔点(101.325kPa)： 15.28℃
沸点(101.325kPa)： 127.12℃
液体密度(20℃，100kPa)： 752kg/m
熔化热(15.28℃，101.325kPa)： 122.05 kJ/kg
气化热(127.12℃，101.325kPa)： 581.38kJ/kg
比热容(25℃，101.325kPa)： 2160.3 J/(kg•℃)
蒸气压(10℃)： 0.588kPa
(20℃)： 1.120Kpa
(60℃)： 9.133kPa
着火点： 室温
毒性级别： 3
易燃性级别： 3
易爆性级别： 3
三甲基铝在常温常压下为无色透明液体。反应性极强。空气中自燃，瞬间就能着火。与具有活性氢的酒精类、酸类激烈反应。与水反应激烈，既使在冷水中也能产生爆炸性分解反应，并生成甲烷，有时还能发火。在300℃时缓慢分解产生甲烷。与AsH3、PH3、醚类、叔胺及其它路易士碱形成稳定的络合物。能与己烷、庚烷等脂肪烃及甲苯、二甲苯等芳香族烃以任意比例混溶。用烃系溶剂烯释到25%以下的三甲基铝失去其自燃性。
三甲基铝与一些物质混合接触时的危险性如下表所示：
混合接触危
险物质名称化学式危险等级摘要
氯酸钠NaClO3A
高氯酸钠NaClO4A
过氧化氧H2O2A
过氧化钠Na2O2B
*铵NH4NO3A
*钠NaNO3A
高锰酸钾KMnO4A
氯苯C6H5ClB有激烈反应的危险
*HNO3A
硫酸H2SO4A
三氧化铬CrO3A
亚氯酸钠NaClO2A
溴酸钠NaBrO3A
重铬酸钾K2Cr2O7B
四氯化碳CCl4B有爆炸的危险性
4、生产方法：
①碘甲烷和金属铝反应。
②二甲基银和铝作用。
③参见三异丁基铝。
烷基铝都是无色液体，商品以20%烃类溶液供应。贮运时可用己烷、庚烷、苯、甲苯等烃类作为溶剂。空气中自燃。遇水、氧化剂、卤代烃、醇或其它含氧有机物都能起猛烈反应。加热至177～232℃时自行分解并放出相应的如乙烯、丙烯、丁烯等易燃性不饱和烃类气体。铝的有机化合物全部操作要在惰性气体(N2、Ar)中进行。20%的烃类溶液无自燃性，但在空气中仍发烟。这种溶液的闪点为所用溶剂的闪点。溢出溶液与空气作用放出的反应热能使溶剂挥发，增加其着火危险。
5、毒性特征：
最高容许浓度：0.5 mg/m
三甲基铝接触皮肤能引起组织破坏和烧伤。因为三甲基铝太活泼，它不可能以其原形直接吸人体内。它在空气中自燃时发出对人体有害的氧化铝烟雾。这种烟雾能刺激和腐蚀眼、皮肤和呼吸道粘膜。人吸入后气管和肺受损伤，严重时能引起肺水肿。
遇到吸入氧化铝烟雾的患者，应立即转移至无污染区，安置休息并保持温暖和舒适，并速请医诊治。眼睛和皮肤接触后，立即用大量水充分冲洗后就医。进入口内时立即漱口并急送医院抢救。
铝的有机化合物，其毒性决定于它的分解产物。急性中毒时出现对眼和上呼吸道的刺激作用、抑制神经系统(无麻醉作用)、降低耗氧量、大脑和内脏充血、肺气肿，严重染毒能引起死亡。烷基铝对人的不幸事件大多与火灾和烧伤有关。死亡病例发生在中毒后36～72小时。参见四乙基铅的毒性。
6、安全防护：
工作时必须穿戴氯乙烯或氯丁橡胶防护服，皮或者尼龙的手套，高腰胶靴，护目镜，防毒(酸性气体用)口罩等。工作场所要通风，保持环境空气新鲜干燥。用钢瓶盛装，液面要用N2、Ar等惰性气体保护。在保护气中的含水及含氧量均应小于20PPm。钢瓶要存放在室外阴凉干燥之处，或易燃液体专用库内，要远离火种、热源、可燃物及能与三甲基铝反应的物质。电气设备必须有防火花装置。库温要低于30℃，相对湿度在75%以下。
有机金属化合物一般没有腐蚀性，可以用碳钢、不锈钢、铜、青铜、黄铜、镍等通用金属材料，但是不能用铅、镁、锡、锌和铝。可用聚四氟乙烯、含聚四氟乙烯或碳的石棉、聚三氟氯乙烯聚合体、聚氯乙烯、聚乙烯、聚丙烯等。
三甲基铝等烷基铝一接触空气就着火，而且还没有有效的灭火方法，所以灭火是比较困难的。着火时，一般的对策是先切断所有火源，隔绝其它可燃物，用干粉、干砂、二氧化碳、砾石等来控制火势，使火灾不蔓延到别处。绝不能使用泡沫及四氯化碳等卤代烃灭火剂。
当三甲基铝泄漏时，首先要切断所有的火源，然后用不燃性分散剂制成的乳剂刷洗。如果没有分散剂，可用干燥砂土吸收后拿到空旷处掩埋，或者用苏打粉混合泄漏液后放在空旷处的大钢盘上，上面用废木料或纸盖住，并在严格监督下烧掉。受污染的地面要用肥皂或洗涤剂洗刷，洗水经稀释后排入废水系统。
有机铝化合物可用煤油、汽油及其它碳氢化合物慢慢地洗涤。对于弱的有机铝溶液，只用水洗。但是在碳氢化合物溶液中使用有机铝化合物时，要防止有机铝化合物着火
三乙基镓Ga(C2H5)3
1.名•英文名 ：Triethylgallium．
2.用途
有机合成、化学气相淀积、处延成长。
3.制法：
4.理化性质
分子量： 156.906
熔点(101.325kPa)： -82.3℃
沸点(101.325KPa)： 142.6℃
液体密度(30℃,100kPa)： 1058kg/m
气体密度： 5.4kg/m
蒸气压(30℃)： 1.25kPa
(70℃)： 8.3kpa
(90℃)： 18.5kPa
三乙基镓在常温常压下为无色透明液体；空气中自燃。与水激烈反应放出乙烷气。在乙烷、庚烷等脂肪族饱和碳氢化合物，甲苯、二甲苯等的芳香族碳氢化合物中，以任意比例相溶解。同AsH3、PH3、醇类、叔胺及路易士碱生成稳定的络合物。与含有活性氢的醇类、酸类产生激烈反应。在室温下，在N2、Ar等惰性气体中保存时稳定。
二茂镁
1、英文名称： magnesocene；di (cyclopentadienyl) magnesium
2、分子式：Mg(C5H5)2 又称双(异戊二烯基)镁。
白色晶体。熔点176℃。在100℃时升华。对空气、潮湿、二氧化碳和二硫化碳均很敏感，固态晶体曝置在空气中着火。溶于乙醚、四氢呋喃、苯、二甲苯。棕褐色。强烈水解。与某金属的氯化物反应，可脱去氯化镁而得二茂金属。在二茂镁分子中，化学键属共价键还是金属离子键，目前尚有争论。二茂镁是向过渡金属引入环戊二烯基的一种很有用的试剂。
3、制法：
溴化乙基镁与苯和乙醚反应可脱去乙烷而得溴化茂基镁(C5H5MgBr)，二个分子的后者于220℃及10-2Pa下可缩去一分子溴化镁而得二茂镁。又金属镁与异戊二烯在500℃反应亦可脱H2而得二茂镁。
三甲基铟In(CH3)3
1.别名•英文名 Trimethylindium．
2.用途 外延成长、有机合成、化学气相淀积。
3.制法
4.理化性质•毒性•安全防护
分子量： 159.9
熔点： ℃
沸点： 135.8℃
液体密度(10℃)： 1568kg/m3
蒸气压(30℃)：0.960kPa (70℃)： 9.60kPa
三甲基铟在常温常压下为无色透明具有特殊臭味的升华性无色结晶。遇冷水部分水出甲烷气体。它与己烷、庚烷等脂肪族饱和烃，甲苯、二甲苯等芳香族烃以任意比例相溶。空气中自燃。与AsH3、PH3、醚类、叔胺及其它路易士碱形成稳定的络合物。与具有活性氢的醇类、酸类进行激烈反应。与甲基醚、三甲基磷烷、三甲基砷烷等作用形成配位化合物，但是其稳定性比镓差。光照易引起三甲基铟的分解，长期保存时需要存放在阴凉干燥之处。
最高容许浓度：0.1 mg/m3(以In计)
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时间：2022-05-31 17:57
金属有机源;metal organic source;MO source
含有碳—金属键，适于金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)技术应用的一类金属有机化合物，又称MO源。制备方法有：(1)金属卤化物和格利雅试剂反应；(2)金属卤化物和金属有机化合物反应；(3)金属合金和烷基卤化物反应；(4)金属和格氏试剂进行电化学反应。所得产品经精馏提纯，或与适当的有机化合物生成配合物，除去杂质后再分解得到高纯产品。MO源也可用于金属有机源分子束外延(MOMBE)和化学束外延(CBE)等。
