四探针测试仪测量电阻率
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发布时间：2024-10-23 17:53
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时间：2024-11-05 10:46
四探针测试仪在半导体材料的电阻率测量中扮演着重要角色，作为标准方法，其以设备简便、操作便捷和高精度见长，对样品尺寸要求相对宽松。该方法不仅限于电阻率测定，还广泛应用于半导体器件扩散层电阻的测量，以评估其品质是否达标。
四探针测试的历史源远流长，1865年由汤姆森提出原理，1920年首次用于地球电阻率测量，1954年首次应用于半导体领域。随着技术的发展，1980年代出现了具备Mapping技术的四点探针，而1999年则诞生了微观四点探针技术，如ST2258C和ST2263双电测数字式四探针测试仪，分别适用于常规和双电测法。
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